日清紡ケミカル、露光装置向けガラス状カーボン開拓 （）

日清紡ケミカルは、ガラス状カーボンの事業領域を広げるべく、半導体露光装置部材向けの開発に照準を合わせる。耐薬品性・耐腐食性などの特徴を武器に、需要の旺盛な半導体分野でのプレゼンスを徐々に高めており、エッチング装置向けに続いて実績化した洗浄装置向けが現在の主力に成長した。さらに露光…