カーリットホールディングス（HD）のグループ会社であるシリコンテクノロジー（長野県佐久市）は、超高平坦度シリコンウエハーの本格展開を開始する。昨年設置した研削装置に加え、両面研磨装置と精度検査器といった専用設備を新規導入し、平坦度（TTV）0・5マイクロメートル品の量産体制を確立した。…
カーリットホールディングス（HD）のグループ会社であるシリコンテクノロジー（長野県佐久市）は、超高平坦度シリコンウエハーの本格展開を開始する。昨年設置した研削装置に加え、両面研磨装置と精度検査器といった専用設備を新規導入し、平坦度（TTV）0・5マイクロメートル品の量産体制を確立した。…