AGCグループの日本真空光学は、半導体製造装置向け光学薄膜製品の拡充を進める。ArF（フッ化アルゴン）・液浸ArF向け高反射ミラーでは、ステッパー部品として顧客評価を推進。EUV（極紫外線）露光装置用ミラーも試作し、現行の1社独占体制から将来的な他メーカー参入時に向けた実用化を推進する。半導…
AGCグループの日本真空光学は、半導体製造装置向け光学薄膜製品の拡充を進める。ArF（フッ化アルゴン）・液浸ArF向け高反射ミラーでは、ステッパー部品として顧客評価を推進。EUV（極紫外線）露光装置用ミラーも試作し、現行の1社独占体制から将来的な他メーカー参入時に向けた実用化を推進する。半導…