日清紡ケミカルは、ガラス状カーボンの事業領域を広げるべく、半導体露光装置部材向けの開発に照準を合わせる。耐薬品性・耐腐食性などの特徴を武器に、需要の旺盛な半導体分野でのプレゼンスを徐々に高めており、エッチング装置向けに続いて実績化した洗浄装置向けが現在の主力に成長した。さらに露光装置での採用を目指して従来以上の高純度化対応を進めている。ガラス状カーボンの売上高は今期、２年前に比べて７割増となる１０億円規模を見込むなど急成長を遂げている。さらに近い将来の露光装置向けの採用をにらんで来期には増設の決断を下す方針。
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