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 【大阪】クラボウの子会社、倉敷繊維加工(大阪市中央区)は、半導体製造用薬液向けに展開する微量金属イオン除去フィルター「クラングラフト」を増強する。生産能力を約2倍にする検討に入っており、2022年度上期にも意思決定し、今年度内に稼働させたい考え。カートリッジおよびカプセル型の同フィルターは、放射線グラフト重合技術を用いて開発したイオン交換型・キレート型不織布を内蔵。高精細化が進む半導体の製造で現在求められている薬液の金属イオン濃度(1~2ケタppt)に対応可能なことなどから、引き合いが強まっている。30年度に、現状比5倍以上となる売上高5億円を目指す方針だ。続きは本紙で

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The post 倉敷繊維加工、半導体製造用薬液向けフィルター増強 first appeared on 化学工業日報.