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技術開発力のさらなる強化と、最新装置の適時供給を見据えて 東京エレクトロン（TEL）は2022年5月12日、製造子会社の東京エレクトロン宮城 本社工場（宮城県黒川郡）敷地内に開発棟を建設すると発表した。新開発棟は2023年春に着工、2025年春に完成の予定。 東京エレクトロン宮城は、プラズマエッチン…