カーリットホールディングス（ＨＤ）のグループ会社であるシリコンテクノロジー（長野県佐久市）は、超高平坦度シリコンウエハーの本格展開を開始する。昨年設置した研削装置に加え、両面研磨装置と精度検査器といった専用設備を新規導入し、平坦度（ＴＴＶ）０・５マイクロメートル品の量産体制を確立した。現在、ＴＣ－ＳＡＷフィルター向け基材を主用途に顧客検証が進展することから、年度内の製品化を計画する。並行して自社内での技術改善も進めＴＴＶ０・２マイクロメートル品を２０２３年度以降に上市する構想だ。
The post シリコンテクノロジー、ＴＴＶシリコンウエハー展開 first appeared on 化学工業日報.