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半導体製造装置大手の東京エレクトロンは8日、2027年3月期を最終年度とする中期経営計画を発表した。半導体の微細化をはじめとする最先端の技術革新にいち早く対応するため、5年間で1兆円以上の研究開発費を投入する。22年3月期までの5年間に比べ約4000億円積み増す。世界的に半導体市場が拡大するなか…