成膜速度100倍、太陽電池向けに東レが開発したスゴい超ハイバリアフィルムの性能 （ニュースイッチ）

東レは超ハイバリアフィルム（写真）を開発した。高密度に蒸着可能な複合化合物膜の技術を高速蒸着技術に適用することで、一般的なスパッタ法に比べて成膜速度が100倍超に向上し、コストを5分の1以下に抑えた。成長が見込まれるフレキシブルデバイスや太陽電池の封止など向けに投入する。2023年に量産…