日立製作所<6501>は2日、グループの日立ハイテクが、半導体デバイスの欠陥検査に必要な日立暗視野式ウェーハ欠陥検査装置「DI2800」を発売すると発表した。 同製品は、8インチ（直径200mm）以下のウェーハ上のパターン形状製造工程で発生する欠陥や異物を高速で検出する機能を搭載。IoT（モノのインタ…
日立製作所<6501>は2日、グループの日立ハイテクが、半導体デバイスの欠陥検査に必要な日立暗視野式ウェーハ欠陥検査装置「DI2800」を発売すると発表した。 同製品は、8インチ（直径200mm）以下のウェーハ上のパターン形状製造工程で発生する欠陥や異物を高速で検出する機能を搭載。IoT（モノのインタ…