VLSIシンポジウム 2022プレビュー 第3回 IntelがEUV露光多用の4nmプロセス、TSMCが単原子層WS2トラン… （マイナビ）

VLSIシンポジウム 2022では、超微細CMOS技術分野でIntel、imec、TSMC、IBMといったプロセスの微細化の先頭を走る企業群から、その取り組みについての発表が行われる予定である。 微細CMOS技術/回路技術分野 1-1:ハイパフォーマンスコンピューティング向けにEUV露光を用いた4nmトランジスタ技術「Intel4…